为什么说直线电机是打开半导体设备市场发展的重要因素之一

文章来源：东莞希思克传动科技有限公司    发布日期：2020-1-6    浏览：1715次

据调查2018年半导体贸易赤字达到2,200多亿美元。欧美发达国家为了阻拦我國在半导体行业的發展，严苛限制半导体协同创新机器设备出入口到我國。最近中芯国际向荷兰阿斯麦企业购买的极紫外线光刻机(EUV)恐生变动，阿斯麦企业以沒有获得出口许可证为由一拖再拖未送货，距离中国的第一台EUV光刻机看来也有很长的路要走。2018年中国半导体设备行业现状为868亿美金，产出率为13%，在集成电路行业甚至更低，约为5%。应对关键技术被卡脖子的困境，中国唯有自身研制才是打破之法，國家大基金二期宣布在这样的情形下问世的。

國家大基金二期潜心项目投资的重点领域之一就是半导体生产制造机器设备，例如光刻机、刻蚀机、塑料薄膜设备、检测设备等，其加工精度能够可达亚μm级甚至是纳米级，在这类精度需要下，一般的电机没办法满足需要。现阶段，最优秀的光刻机、封裝检测设备、自动切割机等均选用直线电机做为动力装置。

直线电机是一种将电能直接转化成直线运动机械能，而不用任意中间变换结构的传动装置。它能够当做是一台旋转电机按径向割开，并进行成平面。在直线电机中，等于旋轉电机电机定子的，叫初中级，等于旋轉电机电机转子的，叫次级线圈。初中级中通以交流，次级线圈就在电磁力的影响下顺着初中级做直线运动。

在集成电路芯片生产制造加工厂，高精度光刻机一般置放在在级别为10的净化室里，直线电机运用于在其中XY定位平台，应用纳米技术像素来保持亚μm级精度。除此之外直线电机在控制面板、诊疗等行业也愈来愈火爆，由于相较为传统式的走走电机，直线电机具备大的优点，详细如下：

构造简易，重量轻。直线电机根据以至少的零部件总数来保持平行线驱动器，并且是只存有一个运作的构件；

维护保养简易，使用期长。因为构件少，运作时无机器触碰，进而大幅度降低了零部件的损坏，只需极少甚至于不用维护保养，使用期更长；

行程大。运作的行程安排在概念上是不会受到任意束缚，并且其特性不容易由于其行程的尺寸变动而受干扰；

滑动摩擦力不大。沒有机器触碰，传动力是在气隙中造成的，除去直线电机线轨之外没有其他的磨擦；

加速度大。最大达到10g；

运作稳定。这由于除去起支撑点影响的直线滑轨或气浮机滚动轴承外，沒有其他机械连接或变换设备的原因；

转速比运作范畴大。其运行能够出示很宽的转速比运作范畴，其包含包含从每秒钟几微米到数米，尤其髙速情况下是其一个突显的优势；

精度和反复精度高。由于除去了干扰精度的中间环节，操作系统的精度在于部位检验部件，有适合的反馈设备可达亚μm级甚至于纳米级。平行线电机的精度特性要远远地好于旋轉电机+滚珠丝杆。

环境污染小，可运用在净化室。直线电机不用润滑液。润滑液亦是污染物。

现阶段直线电机70%左右的销售市场中心被殴美日知名品牌占有，如力土乐Rexroth、科尔摩根Kollmogen、派克Parker、西门子PLCSiemens、安川电机Yaskawa、山洋电机Sanyo等知名品牌，中国仅有雅科贝思、上银、大族等极少数知名品牌，并且在品質层面仍没法与国际品牌市场竞争。

将来伴随着智能工业及高精尖机器设备的大范畴运用，对机器设备明确提出了更高的精度需要，直线电机将会在这其中充分发挥愈来愈关键的影响。特别是在是在半导体机器设备行业，以便打破海外封禁，唯有研制自有品牌的高精度直线电机及其光刻机、刻蚀机、塑料薄膜机器设备等半导体中心机器设备才可以使我國的半导体产业链不会受到海外牵制，尽早让中国人用起“中国芯”。

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