我司提供的标准型直线电机定位平台可以符合众多客户的选择需求,但是当这些无法达到客户的特殊需求时,我们的技术研发团队就可以和客户一起合作完成订制的解决方案。我们所有产品都有一个规格选型表,客户可以将要求写好,技术工程师会根据客户的要求就行选型。
下面列举了众多不同的应用案例,不单是机构部分的特殊订制可以提供,在某些情况下,我们也可以提供伺服控制的整体解决提案,以达到整体生产过程的最佳化。
案例一、合理价格的取放及检测用龙门直线电机定位系统
XY龙门架构使得许多应用得以更低的成本来实现,以标准元件构制而成的龙门直线电机定位平台。
1、采用LMA系列的定位轴
2、重新性±2um
3、可提供含底座
案例二、微细加工到大工件的加工
适用于以雷射或刀具实施的微细结构的加工,充分利用了小型龙门结构的特性,同样提供了合理价格的解决方案。
1、采用运行特性平顺的LMC系列直线电机马达
2、重新性±2um
3、经过大量实际应用的考验
案例三、直线电机平面马达
平面伺服马达提供了一个最佳的检测定位解决方案,比方说,印刷电路板PCB的检测,在马达可动部上装置CCD镜头拍摄板子上的印刷电路是否完整及SMD元件。
1、由于使用菲接触式空气轴承,几乎没有磨耗
2、在整个平面上可以达到很好的平面度(最大1000mm平方)
3、重新性±3um
案例四、高等级的晶圆品质管制、光罩制作
晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要采用空气轴承式的XY平台,以检测出极微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如电子业,晶片工业以及平面显示器业里面都采用这种方式。
1、平面度±2un
2、重新性±0.5um
3、精度±1.5un
案例五、微米技术及晶圆处理
在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性。采用直线电机马达高精度XY平台为最佳选择。
1、行程200mmx200mm,亦可选购300mmx300mm
2、全行程平面度±4um
3、各轴重新性±1um
4、各轴精度±4um
5、洁净室等级100适用,亦可选购等级10
案例六、雷射扫描
极平滑的运动以及较长使用寿命为选用类似类似扫描机这样的光学检测系统的重要因素。采用空气轴承方式的直线电机马达就可以符合这种需求。
1、使用空气轴承因此没有摩擦
2、完全没有顿力,因为采用LMC系列直线电机模组
3、行程可长达1500mm
案例七、卧式高速合成材质热熔接机
采用LMA系列直线电机定位平台搭配绝对式位置编码光学尺。
1、开电时无须找寻电机角
2、由于高加速度,因此在分离合成材质加热板时不会有铅丝的情形
3、以时间力量位置控制热熔程度
4、高速换料
案例八、水刀应用
LMA双动子直线电机平台提供2.5m的长行程带动两组希思克直线模组做上下Z轴运动。下面两轴也是采用LMA高推力直线电机平台做同步运动。
1、提供整体方案,随插即用
2、大行程
3、含底座,护盖及高皆运动控制器
案例九、A0I光学检测整体解决方案
下轴采用LMC系列直线电机模组使得AOI光学检测可以达到相当高的平滑运动及优良的取像;上轴利用LMA马达带动Z轴的螺杆及CCD镜头达到高速运动。
1、重新性±1um
2、速度连波小于1.5%
3、提供机台底座及护盖的整体解决方案
案例十、客制玻加工机台
直线电机定位平台被设计用来承载加工激光头在平台上方移动,客户的加工激光头用来切割双层玻璃。
1、同动架构直线电机定位平台
2、1300mmx1450mm行程
3、平滑运动
4、正玄波整流,无顿力
5、LMC系列马达
6、各轴重现行±2um
7、刚性机构底座
案例十一、提供客户运动规划服务
另一AOI光学检测应用,客户需求要高性能价格比
1、534mmx534mm^2行程
2、LMA27及LMC13龙门
3、特殊龙门同动控制
4、钢材框架
5、集成线路板运输,PLC,IPC于客户端
6、次微米级重新性
7、承若40mm移动可于200ms内收捡至±1.5um
以上便是在部分行业当中所接触到的客户案例,仅供大家在选型的时候有一定的了解,根据实际情况,选择适合自己的才是最好的。在后续过程中有哪些不清楚的地方,可以随时来电与我司进行联系。
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