集成电路市场巨大，半导体设备销售受限，直线电机及光刻机如何破局重生

文章来源：东莞希思克传动科技有限公司    发布日期：2020-3-25    浏览：1336次

2018年中国半導體设备市场容量为868亿美金，产出率为13%，在集成电路芯片领域甚至是更低，约为5%。针对关键技术被卡脖子的困境，中国唯有自身研制开发才是攻克之法，国家大股票基金二期宣布在这种现象下问世的。

国家大股票基金二期潜心项目投资的重中之重领域之一就是说半导体设备设备，例如光刻技术、刻蚀机、塑料薄膜设备、检测设备等，其生产加工精度能够做到亚μm级甚至是纳米级，在这类精度规定下，一般的马达没办法符合要求。当下，最优秀的光刻机、封裝检测设备、激光切割设备等均选用直线电机做为传动装置。

直线电机是一种将电能直接转化成直线运动机械动能，而无需任何中间转化机构的传动装置。它能够看作是一台旋转电机按径向割开，并生成成平面。在直线电机中，等于旋转电机定子的，叫初中级，等于旋转马达转子的，叫次级线圈。初级中通以交流，次级线圈就在电磁力的功效下顺着初级做匀速直线运动。

在ic芯片制造加工厂，高精度光刻技术一般放置在10层净化室，直线电机用于xy定位平台，纳米像素维持亚m层精度。除此之外直线电机在控制面板、诊疗等领域也愈来愈火爆，由于相对于过去的旋转马达，直线电机具备非常大的优点，详细如下：

构造简易，体型小。直线电机根据以较少的零部件数量来保持直线驱动，并且是只存有一个运动的配件；

维护保养简易，使用期长。因为配件少，运动时无机械设备触碰，进而大幅度降低了零部件的损坏，只需非常少甚至是无需维护保养，使用期更长；

行程大。运作的行程在基础理论上是不会受到其他限定，并且其特性不容易由于其行程的尺寸更改而遭受干扰；

滑动摩擦力不大。沒有机械设备触碰，传动力是在气隙中生成的，除去直线电机直线导轨之外没有其他的磨擦；

瞬时速度非常大。最大的达到10g；

运动稳定。这是由于除去起支撑作用的直线滑轨或气浮滚动轴承外，沒有其他机械连接或转化设备的原因；

转速运作区间大。其运行能够给出很宽的转速运作区间，其覆盖包涵从每秒钟几微米到数米，尤其是在髙速情况下是其一个显著的优势；

精度和反复精度高。由于清除了干扰精度的环节，系統的精度在于位置检验部件，有恰当的反馈设备可达亚μm级甚至是纳米级。直线电机的精度特性要大大好于旋转电机+滚珠丝杆。

环境污染小，可运用在净化室。直线电机无需润滑液。润滑液也属于污染物。

当下直线电机70%之上的销售市场主要被殴美日企业品牌占有，如力土乐Rexroth、科尔摩根Kollmogen、派克Parker、西门子PLCSiemens、安川电机Yaskawa、山洋马达Sanyo等企业品牌，中国仅有雅科贝思、上银、天雄等个别企业品牌，并且在质量上仍没法与国际品牌市场竞争。

将来，随着智能制造系统和高新技术设备的大区间运用，对设备明确提出了更高的精度规定，直线电机在其中发挥越来越重要的效果。特别是在是在半導體设备领域，为了攻克海外封禁，唯有研制开发自有品牌的高精度直线电机及光刻技术、刻蚀机、薄膜设备等半導體关键设备才可以使我國的半導體产业链不会受到海外牵制，顺利让中国人用到“中国芯”。

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